EV集团将在SEMICONCHINA展出用于3D-IC封装的突破性晶圆键合技术
本文摘要:EV集团公司将在SEMICONCHINA展览会作为三维-ICPCB的开创性晶圆键合技术性较以上一代对准系统软件,GEMINIFBXT熔化键合机里的全新升级SmartViewNT3对准系统软件可提升 2-3倍的晶圆键合对准和套刻性能德国,圣弗洛里安,今年3月12日朝向MEMS、纳米材料和半导体材料销售市场的晶圆键通与光刻机器设备的领跑经销商EV集团公司(EVG)今天宣布将在SEMICONChina上展览会最近的晶圆键合解决方法。

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EV集团公司将在SEMICONCHINA展览会作为三维-ICPCB的开创性晶圆键合技术性较以上一代对准系统软件,GEMINIFBXT熔化键合机里的全新升级SmartViewNT3对准系统软件可提升 2-3倍的晶圆键合对准和套刻性能德国,圣弗洛里安,今年3月12日朝向MEMS、纳米材料和半导体材料销售市场的晶圆键通与光刻机器设备的领跑经销商EV集团公司(EVG)今天宣布将在SEMICONChina上展览会最近的晶圆键合解决方法。SEMICONChina是我国主要的半导体业展览会,这届展览会将于3月20日-22日在上海新的国际展览中心举办。EVG将不容易展览会全新升级的SmartView?NT3对准系统软件,该对准系统软件仅限于于本企业专为批量生产(HVM)运用于打造的领域标准GEMINIFBXT集成化熔化键合系统软件。

较以上一代服务平台,专为结合和混和晶圆键合而产品研发的SmartViewNT3对准系统软件可获得高过50纳米技术的晶圆到晶圆对准精密度(2-3倍的精密度提升 ),及其大幅度提高了生产量(每钟头高达20个晶圆)。凭着全新升级的SmartViewNT3对准系统软件,GEMINI?FBXT能为构建机器设备生产商、代工企业及其业务外包半导体材料拼装和检测服务提供商(OSAT)获得业界无以伦比的晶圆键合性能,并可合乎其将来的三维-ICPCB回绝。加强型GEMINIFBXT抵制的运用于还包含:储存器添充、三维上面系统软件(SoC)、背照式CMOS光学镜头添充及其处理芯片系统分区。

作为构建三维元器件添充的晶圆键合加工工艺针对机器设备相对密度与性能不断改进,半导体行业的横着添充已沦落更为脱离实际的计划方案。晶圆到晶圆的键通是构建三维添充元器件的重要加工工艺流程。可是要在键合晶圆上的点到点机器设备中间构建不错的电了解,并尽可能扩大键合页面处的点到点地区,则回绝在晶圆中间构建紧密对准及其较高的重叠精密度,进而在晶圆上空出更为多室内空间来生产线设备。

伴随着抵制部件路线地图所需要超出的间隔大大的增加,每一代新品都是会应用更为苛刻的晶圆到晶圆键合标准。在imec,大家确信3D技术的魔法能够为半导体业创设新的机会和概率,眼底下大家也推广很多活力来对其进行改进。

imec三维信息系统集成研究者担任项目负责人EricBeyne在2018年10月SmartViewNT3对准系统软件月发布后答复,大家特别是在瞩目的在其中一个行业原是晶圆到晶圆的键合,而根据与EV集团公司等业内合作方大力开展协作,大家已在这里层面得到 了十分出色的考试成绩。上年,大家顺利地将混和晶圆到晶圆键合中的处理芯片相接间距或间隔扩大来到1.4μm,这比业内现阶段的规范间隔整整的变小四倍。2020年,大家还不容易期待将间隔至少再作增加一半。

不但超出回绝,更为要构建摆脱。熔化键合系统软件依然正确引导业内向着这一技术设备PCB运用于性能的回绝方位在发展趋势。仅有上年一年,大家就与好几个领域合作方构建了多种全局性的套刻精密度里程碑式。

EV集团公司执行技术主管PaulLindner答复,根据应用大家专为必需键合销售市场所设计方案并重进运用于广泛的GEMINIFBXT熔化键合机队伍的全新升级SmartViewNT3对准系统软件,EVG再一次新的创出了晶圆键合的概率,进而可协助业内以后拓张构建相对密度和性能进一步提高的添充机器设备、更为较低的功能损耗及其更为小的闲置不用总面积。EVG将在本次SEMICONChina展览全新升级的SmartViewNT3对准系统软件,及其EVG整套的晶圆键合、光刻和抗蚀剂应急处置解决方法。与会人员有兴趣爱好了解更为多信息内容,可前去上海新的国际展览中心N2厅的2547号EVG展台。

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编者注:相关EVG以及领域合作方最近所构建晶圆键合性能提升的信息内容,客户程序下列申明:Imec和EVG初次展览1.8μm的晶圆键合间隔套刻精密度有关EV集团公司(EVG)EV集团公司(EVG)是为半导体材料、微机电系统(MEMS)、化学物质半导体材料、电力电子器件和纳米材料元器件生产制造获得机器设备与加工工艺解决方法的领跑经销商。其关键商品还包含:晶圆键合、厚晶圆应急处置、光刻/纳米技术印压光刻(NIL)与计量检定机器设备,及其上胶机、清洗设备和监测系统。

EV集团公司宣布创立于1980年,能为遍及全世界的诸多顾客和合作方互联网获得各种服务项目与抵制。


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